Acquisto di una STAZIONE DI LITOGRAFIA composta da:
- LOTTO 1: SISTEMA DI “SPRAY/SPIN COATING” PER NANO-INGEGNERIA (CPV Prevalente: 31712000-0 Macchinari, apparecchiature e microsistemi microelettronici; CPV Secondario: 42900000-5 Macchinari vari per usi generali e specifici);
- LOTTO 2: SISTEMA DI LITOGRAFIA A FASCIO ELETTRONICO PER NANO-INGEGNERIA (CPV Prevalente: 31712000-0 Macchinari, apparecchiature e microsistemi microelettronici; CPV Secondario: 42900000-5 Macchinari vari per usi generali e specifici);
- LOTTO 3: SISTEMA DI INCISIONE IONICA (RIE) PER NANO-INGEGNERIA (CPV Prevalente: 31712000-0 Macchinari, apparecchiature e microsistemi microelettronici; CPV Secondario: 42900000-5 Macchinari vari per usi generali e specifici)
mediante procedura aperta ex art. 3, c. 2, lett. sss), D.Lgs. 50/16, nel rispetto di quanto previsto dagli artt. 60 e 95 D.Lgs. 50/16, con criterio di aggiudicazione dell'offerta economicamente più vantaggiosa. Per i tempi di consegna e i dettagli tecnici si fa riferimento al Capitolato di gara ed al Capitolato Tecnico-Amministrativo (cfr Art. 3)
Per i dettagli, consultare https://cerict.traspare.com/announcements/28